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碳化硅涂层石墨产品介绍- 德智新材
精彩导读:产品概述SiC涂层石墨基座具有耐高温、抗氧化、纯度高、和耐酸碱盐及有机试剂等特性,物理化学性能稳定。与高纯度石墨相比较,高纯石墨在400
产品概述

SiC涂层石墨基座具有耐高温、抗氧化、纯度高、和耐酸碱盐及有机试剂等特性,物理化学性能稳定。与高纯度石墨相比较,高纯石墨在400℃开始发生强烈氧化,即使温度不高,长期应用也因氧化而掉粉末,会依附工件和台面或污染使用环境,因此SiC涂层石墨基座作为一种新耗材在MOVCD设备、粉末烧结等工序上逐步代替了高纯石墨基座。

德智新材生产的SiC涂层石墨基座等产品涂层是在高温条件下,使特种气体释放出硅。硅和碳直接结合,从而将特定形状石墨基体包裹起来,形成SiC保护层,所形成的SiC牢牢的涂覆在石墨基体上,赋予石墨基体特殊的性能,从而使石墨基座表面致密,无孔隙、耐高温、抗溶蚀、抗氧化。

 

 
■主要特点:

●     高温抗氧化:抗氧化,温度高达1600℃时抗氧化性能仍然非常好。

●     纯度高:高温氯化条件下化学气相沉积方法制得的。

●     耐冲刷:硬度高、表面致密、颗粒细。

●     抗腐蚀性:耐酸、碱、盐及有机试剂。

 

 
■主要参数:

●     SiC表面层为β-SiC 属面心立方。

●     晶格常数α0。434mm。

●     具有高纯度和各相异性。

●     SiC涂层具有较高的热导率 80W/m·k。

●     密度在 3.15-3.20g/cm3。

●     热膨胀系数 4。8×10-6 ℃-1。

 

 
■产品应用:

●     MOCVD设备中,GaN外延生长用的石墨基座涂层。

●     单晶硅外延生长用的石墨基座涂层,平板基座、圆形基座、立体基座。

●     单晶硅器件烧结炉用的石墨底盘涂层。

●     石墨加热器上的表面涂层(平板加热器、圆形加热器、筒形加热器等等)。

●     各种氧化物隧道窑中烧结用的石墨匣钵涂层。

●     粉末冶金连续烧结用的石墨基座涂层。

 
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